- твердофазная рекристаллизация
- recristallisation en phase solide
Русско-французский политехнический словарь. 2013.
Русско-французский политехнический словарь. 2013.
ЛАЗЕРНЫЙ ОТЖИГ — в узком, первонач. смысле восстановление под действием лазерного излучения кристаллич. структуры приповерхностных слоев полупроводников, нарушенной ионной имплантацией; открыт в 1975 в СССР [1]. Под Л. о. в широком смысле понимают структурные… … Физическая энциклопедия